英國光電子技術公司Plessey采購晶圓鍵合系統擴大MicroLED的制造
作者:51Touch時間:2018-11-19 來源:OFweek
[摘要]英國光電子技術解決方案的領先開發商Plessey Semiconductor日前表示,已從晶圓鍵合和光刻設備生產商EVG購買了GEMINI晶圓鍵合系統。
北京時間11月19日消息,中國觸摸屏網訊,Plessey采購晶圓鍵合系統 加大MicroLED的生產。英國光電子技術解決方案的領先開發商Plessey Semiconductor日前表示,已從晶圓鍵合和光刻設備生產商EVG購買了GEMINI晶圓鍵合系統。
本文來自:http://m.l2l9tgy.cn/fixture/news/2018/1119/52114.html
該公司計劃使用該系統擴大其GaN-on-Si MicroLED的制造。Plessey表示,GEMINI生產晶圓鍵合系統將在Plessey位于英國普利茅斯的制造工廠展開粘合和校準的工作。與此同時,該系統還可將其GaN-on-Si MicroLED陣列與晶圓級背板緊密結合,具有極小像素尺寸所需的高對準精度。
EVG表示,其獲得專利的SmartView ® NT自動鍵合對準系統技術可實現晶圓的正面對準,具有極高的精度。
此外,其GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統實現了最高水平的自動化和流程集成。該全自動平臺可實現晶圓到晶圓對準以及提供高達300mm的晶圓鍵合工藝,適用于批量生產。
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